�a(ch��n)Ʒ��B

���ǻ�w��Vacuum chamber�������ϵ�y(t��ng)�ĺ��ģ����ǛQ������O(sh��)�����ܺÉĵ��P(gu��n)�I����˾�����ǻ�w����ᘌ��͑��ľ��w��(y��ng)�ö��Ƽӹ�����Ҫ��(y��ng)����IBE��IBD��ALD ��ALE ��PECVD�ȡ�
���õIJ����в��P䓡��X�Ͻ�̼䓵ȣ��漰�ı���̎���к��ӡ���ɰ�����⡢늽⒁�⡢ꖘO�����ȣ�����Ҳ�������տ͑��������M�П�̎�푪(y��ng)������������ӑ�(y��ng)�������ȣ���͑��ṩ������������Ƴ̽�Q������