�O����λ�C����ܛ���_�l 10K-20K
λ؟
1. ���°댧�w�����O�估���������O���ܛ��ϵ�y�аl��
2. ����windowsƽ�_���M�������c��ؓ؟ܛ����ϵ�y�����c�{ԇ���Ͼ�������
3. �а댧�w���S�O�乤�̎�����߃���
λҪ��
1�� ���Ƽ����όW�v��Ӌ��C�ƌW��ܛ�����̡��Ԅӿ��ơ��C늡���늡���ӵ����P�����ƌ��I�� ���î��I�������Pܛ���_�l2�����Ϲ�����2�� ���O���ИI������ܛ���_�l��������ѣ� �댧�w�O���������]��
3�� �쾚����C# �����Z�ԣ�����.NET Framework��ܣ�����WCF��WPF���˽�MVVM�_�lģʽ�����մ��� / socket�cӲ���O��ͨ�ż��ྀ���_�l���˽┵�����_�l�������˽�ܛ���OӋģʽ��
4�� ���^���������W��������؟���ď����߂����õĜ�ͨ�����c�F������R��Ը�����������������������܉����һ���Ĺ���������
5.��PECVD��AKT���ȡ�
���g��ˇ���̎� 10K-20K
��λ؟��
1�����g��ˇ���_�l�c��C��
2������C�_���аl������C�_���M�������Ҋ��
3���Ȳ��O�乤ˇ����C�c��գ�
4���͑��˙C�_��ˇ����C�{ԇ������
5���c�͑��M��DEMO�Ĝ�ͨ�R��
6���¹�ˇ���_�lԇ
7������Ј��I�N���M����ǰ���ۺ�����g֧����
8����ˇ�����������c�R��ȹ�����
9�����P���������c��Ո��
��λҪ��
1�����Ƽ����όW�v������W�����ϡ����W����ӡ������·�����P���I���I��
2����یW�����ܳԿ࣬�����M�ģ�������������
3��߉�ԏ������_�����^�ã�
4���а댧�w�ИI����߃��ȣ���Ϥ�ɷ����g��ˇ�߃��ȣ�
5����SEM��AFM���Eƫ�x��Ĥ��x���_�A�x�ȱ����ֶ���Ϥ�߃��ȣ�
6���ڰ댧�w���Ϸ����п��g��ˇ�н���߃��ȣ�
���g�O�乤�̎� 15K-30K
1��ؓ؟�ƶ����g�O����OӋ�u�������g֧�֡��y�u����˜�
2��ؓ؟���g�O���аl�^�̮���̎����ϵ�y�Ը��ƴ�ʩ���ƶ��������O���\�гɱ�
3��ؓ؟���g�O��ľS�S�o����Ʒ�����ُ����
4���ƶ��O��IJ������S�o���B�ļ�
5���ƶ��䌍�O���A���ԾS�o���B��ʹ�O������������aƷ�ȫ��
6����Ϥ���g�O���߃���
��λ؟��
1�����Ƽ����όW�v����ӡ��Ԅӻ����ơ��C�һ�w�������P���I
2����یW�����ܳԿ࣬�����M�ģ�������������
3��߉�ԏ������_�����^�ã�
4���а댧�w�ИI����߃��ȣ���Ϥ�ɷ����g�O���߃��ȣ�
5����SEM��AFM���Eƫ�x��Ĥ��x���_�A�x�ȱ����ֶ���Ϥ�߃��ȣ�
6���ڰ댧�w�ИI���аl���g�O�佛��߃��ȣ�
ԭ�ӌӣ�ALD/ALE����ˇ�_�l����/���O��15K-30K��
��λ؟��
1��ؓ؟���Ͱ댧�w�����аl��������Mԭ�ӌӹ�ˇ�_�l����Ĥ�������L/���g��ˇ�аl���������M��ϵ�y�����yԇ��
2�������͑��аl�����{���īI���_չ���_��������ˇ�l���������O���аl�M�ȣ�
3��������u���C�_���¹��ܣ�������ˇ�ɱ���
5���쾚ʹ�Ô����yӋ����ܛ��������OӋ���ߣ�
6���������������Y�Ƽ��аl��棬���څR���аl�Mչ�������P�Ƽ�Փ�ĺ���Ո������
��Ҫ��
1���Tʿ�����όW�v�����Ѓ����Ӣ����x�͌����������ЙC���c����Ժ��/�͑����������Ӈ��H�W�g���h�ȣ�;
2���C�һ�w��/���/����/���W/����/���ϵ���������P���I���ȣ�
3�����댧�w������O���c��ˇ��һ���˽⣬�Կ��̈́ڣ����m���댧�w�аl����ģʽ���Пo�m�ҹ�������;
4�������e�O���ӣ�����˼���������߂�һ���M���f�{�������й���F꠵Ľ�
5���Пo�m�ҹ�������҄������������Ќ�����O�䰲�b�{ԇ���S����߃��ȣ�
6���б��I�����ڿ�Փ�ġ�피����hՓ�İl����������Ո����߃��ȣ�
7����ALD��PECVD��PEALD��IBE��IBD��RIE�ȹ�ˇ�_�l����߃��ȡ�
ԭ�ӌӣ�ALD/ALE���O���_�l����/���O��15K-30K��
��λ؟��
1��ؓ؟�댧�w�O���_�l�����Ĺ����ͅf�{��
2��ؓ؟ԭ�ӌ��O���_�l��
3�����r̎������F����ӮaƷ�����^���аl���ĸ��Nͻ�l��r��
4��Ҏ��TPM���Ԅӻ��Cе���֘˜��ƶ�����ʩ�̓���;
5���O������ļ������ƶ��ȡ�
��Ҫ��
1���Tʿ�����όW�v�����Ѓ����Ӣ����x�͌����������ЙC���c����Ժ��/�͑����������Ӈ��H�W�g���h�ȣ�;
2���C�һ�w��/���/����/���W/����/���ϵ���������P���I���ȣ�
3�����댧�w������O����һ���˽⣬�Կ��̈́ڣ����m���댧�w�аl����ģʽ���Пo�m�ҹ�������;
4�������e�O���ӣ�����˼���������߂�һ���M���f�{�������й���F꠵Ľ�
5���Пo�m�ҹ�������҄������������Ќ�����O�䰲�b�{ԇ���S����߃��ȣ�
6���б��I�����ڿ�Փ�ġ�피����hՓ�İl����������Ո����߃��ȣ�
7����ALD��PECVD��PEALD��IBE��IBD��RIE���O���_�l����߃��ȡ�
ԭ�ӌӹ�ˇ�_�l���̎���10K-15K��
��λ؟��
1��ؓ؟�aƷ���a�^�̵��OӋ����ˇҎ���ƶ�����ˇ�^�̵ľS�o���ƣ��Ԍ��F�܉�M�㰲ȫ��Ʒ�|��Ч�ʡ��ɱ�Ҫ������a�^�̞�Ŀ�ˣ�����������������ˇ�^�̣�ƥ�乫˾�İlչҎ����
2��ؓ؟�O���_�l�����е��ļ��ƶ���ؓ؟�͑��Ę�Ƭ�y��������
3���^�̮�����ԭ����������ƣ����m�����^���������f�����O���аl�Ĺ�ˇָ�˴_�J������
4�������^�����I���̡����������g�Ȍ��FЧ�ʡ�Ʒ�|���ɱ��ȾS�ȵ�����ؓ؟�댧�w�O�乤ˇָ����C������������SOP��
��Ҫ��
1�����Ƽ����όW�v�����Ѓ����Ӣ����x�͌����������ЙC���c����Ժ��/�͑����������Ӈ��H�W�g���h�ȣ�;
2���C�һ�w��/���/����/���W/����/���ϵ���������P���I���ȣ�
3�����댧�w������O���c��ˇ��һ���˽⣬�Կ��̈́ڣ����m���댧�w�аl����ģʽ;
4�������e�O���ӣ�����˼��������
5���Пo�m�ҹ������ȣ�
6���Ќ�����Ո����߃��ȣ�
7����ALD��PECVD��PEALD��IBE��IBD��RIE�ȹ�ˇ�_�l����߃��ȡ�
ԭ�ӌ��O���_�l���̎���10K-15K��
��λ؟��
1.ؓ؟������O����u������ُ�����b���{ԇ���S�o�ȡ�
2.�f���M���k���Һ͌���ҵ��b���졢�������S�o��
3.�f���M�Ќ����һ����ĵĽ��n������
4.�f���M�Ќ�����O���ʹ��Ҏ�t�Ľ�����������M��Ҏ�t�Ľ�����������ճ�ʹ�×l���Ľ�������ʩ��
5.�f�������ⲿ������ⲿ�YԴ�����ָ���΄ա�
��Ҫ��
1�����Ƽ����όW�v�����Ѓ����Ӣ����x�͌����������ЙC���c����Ժ��/�͑����������Ӈ��H�W�g���h�ȣ�;
2���C�һ�w��/���/����/���W/����/���ϵ���������P���I���ȣ�
3�����댧�w������O���c��ˇ��һ���˽⣬�Կ��̈́ڣ����m���댧�w�аl����ģʽ;
4�������e�O���ӣ�����˼��������
5���Пo�m�ҹ������ȣ�
6���Ќ�����Ո����߃��ȣ�
7����ALD��PECVD��PEALD��IBE��IBD��RIE���O���_�l����߃��ȡ�
�댧�w�N�����T����н5000-7000+��ɣ�
�������
1������N���������_���¡�������ȵ��Ј��N��Ŀ�ˡ�
2����ɲ��T�N��Ӌ���ľ��ƣ�
��1���f���M�����ƹ�˾�ꡢ�����¶��N�۹����������N��Ŀ�ˡ��N���wϵ���O�c�������P�I�͑������ȣ�Ӌ�����A�㡣
��2�������N�ۺ�ͬ�ĺ�ӆ�������c�����Լ�؛��ĽY�㡢�ػ\�̈́��D������
3���Ј��{��ͷ������ռ�����Ј�������P�ИI�����c��Ϣ���鱾���T�ṩ��Ϣ�Q��֧�֡�
4���͑��_�ء������;S�o��
��1���c�͑��M�М�ͨ�����r���տ͑���Ҫ���˽�͑���B���ռ��͑���Ϣ��
��2���f��������ȫ��I���ۺ���վW�j���ڼ��g���T��֧���½M������˾�͑����ۺ���գ��S�o���õĿ͑��Pϵ��
��Ҫ��
1�������όW�v��
2���������ݡ����_�������������^���Ĝ�ͨ���������H���ɣ������H������
3���߂��^���ķ�����Ӌ���������c�Ƅ�������
4���߂��^����؟���ģ��F����ܳ����^��Ĺ�����������������
5���а댧�w�O���댧�w���P�ИI�N�۽���߃��ȣ�
6���п���Ժ����ԺУ�Ј��N�۱����߃��ȡ�
7��н�Y����н+���
���l�_�l���̎���10K-20K��
�������
1. �����Ŀ�_�l��Ҫ�ɆT���f�����OӋ����Ŀ�_�l�е����P�΄�;
2. �f���ƶ��®aƷҎ������M��ϵ�y���������Լ��L�U�u��������������u�����x��;
3. ؓ؟�x��Դ���l�����ƶ���Փ�C;
4. ؓ؟�x��Դ���l���桢�OӋ��
5. ؓ؟��Q�Ŀ�_�l�����l�����P���};
6. ؓ؟���l�����x�͡�ƥ���·�OӋ��layoutָ������C���yԇ������;
7. ؓ؟���C���l�·�{ԇ�����ܜyԇ;
8. �܉��m�����ڳ���.
��Ҫ��
1. �����e�O���ӡ�����֔���J��ؓ؟�����ڜ�ͨ�����ӽ�Q�Ŀƿ�i���c���}
2. ���и߶ȵ�؟�θм���������
3. ˼·���������õĕr�g�������R��
4. ���ڜ�ͨ���߂䃞��ĈF������� ;
5. ���Ƽ����όW�v������3���������l�OӋ�_�l�{ԇ��
�������������Uһ����ĩ�p�ݡ����ո�������н��١��̘I�U���a�N�������w�z�����ڈF��
���K�i�e�댧�w�O�似�g����˾ �KICP��2021019173̖-1