���K�i�e�댧�w�O�似�g����˾�ɽ��Kʡ�a�I���g�о�Ժ����ͨ��� ^�ͺ��w�F꠹�ͬͶ�Y��������һ�Ҍ�ע�ڰ댧�w�P�I�M�����طN��ˇ�O��ĸ��¼��g��˾�����OӋ���аl�����졢�N�ۼ���ˇ���g֧�ַ�����һ�w�ľC�Ͻ�Q���������̡� ��˾���ۇ�����댧�w�I���g���ң��������A��W������Bell Labؐ������ң�Ӣ�ؠ�������ʿ���Y��댧�w��ʿ�I㕣������аl���a���Ȱ댧�w�a�I����ġ������ӡ��P�I�M������ˇ�O�䡣Ŀǰ��Ҫ�aƷ��������չ�·��ǻ���OӋ;�žW;�x��Դ���аl�͡��a�I����ԭ�ӌӳ��e��ALD�����аl��ԭ�ӌӿ��g��ALE����HF��XeF���g�C/�x�������gIBE/���e�O��IBD�ȣ��V��������IC оƬ��MEMS��LED����ͨ�š������⡢�����⡢�Ŵ惦�����������a��
�Ź���̖
���K�i�e�댧�w�O�似�g����˾ �KICP��2021019173̖-1