1.��Ĥ������С��1%��
2. LOADLOCK ��Ʒ��ݔϵ�y(t��ng)��
3.��(d��)�ص��M(j��n)���O(sh��)Ӌ(j��)�������y�T����(y��ng)��<10ms��,���_����ÿ��(g��)ѭ�h(hu��n)�е��M(j��n)Դ������Ч���ⷴ��(y��ng)Դ�ēpʧ��
4.����(y��ng)Gas line����ȫ�����ӟ�ʽ�����⾀�M(j��n)�вʽ�؜ط�ʽ�M(j��n)�мӟᣬ��·�ӟ����
5. ICP �h(yu��n)�̸Б�(y��ng)��ϵ��x���wϵ�y(t��ng)��
6.ԭ�b�M(j��n)�� 1000W ���l�Դ��
7.���������ϵ�y(t��ng)�����M(j��n)�ڸɱ�+���ӱã���