�a(ch��n)Ʒ��B
���A������wafer cassette������(y��u)�|(zh��)�X�Ͳľ��ܼӹ�����������̎�������w�ι�����ʹ�É���3��+������ۃ�(n��i)�⻬�o����D(zhu��n)���AƬ���ð�ȫ���҂��ľ��A������Ô�ϵ���Ʒ��һ���׳��������Ĺ�ˇ���̺̓�(y��u)�|(zh��)�����������������Ԟ����ṩ�|(zh��)��(y��u)�r����2-12�羧�A������ͬ�r�ɸ���(j��)�͑����a(ch��n)��ˇҪ���M�зǘ˶��ƾ��A�������gÓ�����ǰ����ԃǢՄ������
�a(ch��n)Ʒ���c
���K�i�e�댧�w�O�似�g(sh��)���޹�˾ �KICP��2021019173̖-1