�a(ch��n)Ʒ��B

�x��Դ�Dz����x�Ӽ��g(sh��)�o���Ĥ�����g�ȸ߶��O(sh��)�����Ҫ�����������žW(w��ng)���x��Դ��ֱ��Ӱ푾����Ժ������Ե���Ҫ�׺�����������Q���ˎ���x�ӵ��ܶȡ��\(y��n)��(d��ng)���򡢼��ٶȵȣ�ֱ��Ӱ�����(y��ng)����Įa(ch��n)Ʒ�|(zh��)����

 ï¿½a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

 ï¿½Ò¹ï¿½Ë¾ï¿½ï¿½ï¿½a(ch��n)�x��Դ��Ion source���ŘO�M����Ҫ��(y��ng)�����x�ӿ��g/���e�O(sh��)�䣨IBE/IBD�����žW(w��ng)����Ƭһ�׵��f�ŘO(Mo Grid)�����ηքe��Beam Grid��Suppressor Grid��Ground Grid����(j��ng)�^���I(y��)����ı���ӹ��������@�׼ӹ������˱��C�x�����ľ����ԣ�ͨ�^���_�y(c��)���͸߾��Ȕ�(sh��)ֵģ�M��Y(ji��)�ϣ��ږžW(w��ng)���_�_�ס��Ƕȷֲ��ȷ����_չ���g(sh��)���P(gu��n)�����C���x�����ľ����ԡ�������˱��C�a(ch��n)Ʒ�ķ�(w��n)���Ժ������ԣ���˾���x�ߙn�M(j��n)��ԭ���ϣ��ӹ��н�(j��ng)�^���ߜصȪ�(d��)�Б�(y��ng)�����ͼ��g(sh��)̎������(j��ng)�^������ⶨ�͇�ɰ��ɣ���(j��ng)�����á�

������(y��u)��(sh��)

1.�ߙn�M(j��n)�ڲ���99.9999%����

2.���I(y��)����ļӹ���ˇ�����ߜصȪ�(d��)�еđ�(y��ng)�����ͼ��g(sh��)̎����

3.�ИI(y��)�Y��҈F(tu��n)�(du��)��Ʒ�|(zh��)�б���

4.��(y��u)�|(zh��)�Įa(ch��n)Ʒ�����ĵķ���(w��)